泉州工业烤箱多少钱一台
石墨盘烤盘炉
一.产品介绍
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 合肥真萍科技****,真诚推荐选择。泉州工业烤箱多少钱一台
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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。
过滤系统:
2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。
2.2 镜面不锈钢结构体。
2.3 特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。
2.4 电路板控制模块,提供安 全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。
2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。
2.6 滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。
2.7 电力规格:单相220V 50Hz 0.95A,输出功率150W。
泉州工业烤箱多少钱一台烤箱由箱体,电气控制柜,电加热,风道,尘埃物过滤,N2 进气排气等部分组装而成,结构合理,功能实用。![泉州工业烤箱多少钱一台,工业烤箱](https://tyunfile.71360.com/WaterMark/UploadFile/zpdz/637278382551572266/9343445.png)
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:
1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
2. 载物托架:2块
3.室温+10℃-250℃ 控温范围:温度分辨率:0.1℃ 温度波动度:±0.5℃
4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,
5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)
6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。
7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。
下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,普遍应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标:
可靠的测控系统
1温度控制装置:进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能
2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶
3温度监控装置:采用六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。
完善的控制系统,及安全防护措施
1操作控制系统,采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制,更快速,更稳定。
2防护措施:紧急停止,超温保护,断线报警,相序保护,过载保护,短路保护,漏电保护,及电磁门禁保护等 合肥真萍科技为您提供质量的定制工业烤箱价格。
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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。
洁净节能氮气柜的氮气监控系统:
1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。
1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。
1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。
洁净节能氮气柜的湿度控制:
2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。
2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。
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工业烤箱有哪些种类?合肥真萍科技告诉您。泉州工业烤箱多少钱一台
中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。
一、热工系统
1.额定温度 800℃
2.较高温度 850℃
3.加热元件 陶瓷外丝加热管
4.加热功率 18kw
5.空炉保温功率 约 9kw
6.温区个数 1 个
7.控温点数 2 点
8.热偶 K 分度
9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)
10.炉膛温度均匀度 ±6℃(恒温 800℃,1h)
二、气氛系统
1.炉膛气氛 2 路氮气,流量计量程为 2~20L/min;每路流量可调节
2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱,用于废气排放,废气
3.经过水封清洗后进入大气中,减少对环境污染
4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量:
5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量
6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量
三、冷却系统
1.冷却结构 无
2.产品降温 随炉降温
3.安全保护
4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护
5.设备安全升温速率 ≤5℃/min
四、温度控制系统
1.温度测量 采用 K 分度热偶测量
2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温
3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能
4.控制方式 固态继电器过零控制
5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警。
⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时,报警。 泉州工业烤箱多少钱一台
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